Датчики температуры и вибрации

Узлы управления ЭПУУ-7, ЭПУУ-8

МИА-1


Продукция > Оптико-физические измерения > МИА-1

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 (микропрофилометр)

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 (микропрофилометр)

Предназначен для бесконтактного автоматического измерения микрорельефа поверхности, толщины тонких пленок, а также высотных и шаговых параметров шероховатости поверхности.

Предназначен для бесконтактного автоматического измерения микрорельефа поверхности, толщины тонких пленок, а также высотных и шаговых параметров шероховатости поверхности. Автоматизированный интерференционный микропрофилометр создан на базе микроинтерферометра Линника МИИ-4М, широко используемого для промышленного контроля и измерений в металлобработке, микроэлектронике, производстве тонких пленок и т.д. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе, встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерферограммы при различных положениях опорного зеркала с помощью встроенной ПЗС-телекамеры через устройство ввода изображения поступают в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка. Результаты измерений в виде тpехмеpных и двумерных профилей объекта, гpафиков и гистогpамм отобpажаются на экране компьютера, а также могут быть выведены на пpинтеp для печати. Для точного позиционирования объекта микропрофилометр может быть снабжен двухкооpдинатным автоматизированным предметным столом с шаговыми двигателями, управляемым от компьютера.

Области применения

в промышленности:

  • бесконтактное измерение микропрофиля отражающих поверхностей

  • измерение высотных и шаговых параметров шероховатости

  • измерение толщины тонких пленок

  • динамические измерения

в биологии и медицине:

  • возможность исследования живых неокрашенных клеток

  • морфометрия клеток

  • измерение сухого веса клеток с точностью 10-12 г

  • измерение показателя двулучепреломления

  • оценка состояния популяции клеток

  • динамическая фазовая микроскопия

Состав:

  • базовый модернизированный микроинтерферометр МИИ-4М

  • лазерный источник освещения

  • управляемое от компьютера опорное зеркало на пьезоэлементе

  • две встроенные ПЗС-телекамеры

  • плата ввода изображения

  • плата управления пьезозеркалом

  • пакет прикладных программ с руководством пользователя

  • управляемый от компьютера двухкоординатный автоматизированный предметный стол с шаговыми двигателями*

  • плата управления автоматизированным предметным столом*.

Пример работы микропрофилометра:

  • Участок поверхности компакт-диска

  • Измерение морфометрических параметров и массы сухих веществ клетки

Представление результатов измерений:

  • Сечения горизонтальное и вертикальное сечения профиля в любой выбранной точке

  • Псевдоцветное изображение псевдоцветное изображение профиля с двумя взаимно перпендикулярными сечениями в любой выбранной точке

  • Таблица значений таблица значений высоты профиля в прямоугольной области профиле

  • Трехмерное изображение трехмерное изображение профиля с возможностями масштабирования и вращения

  • Протокол протокол измерений, включающий в себя любой из перечисленных видов представления

Технические характеристики

 

Микроинтерферометр МИИ-4М

 

Линейное поле зрения в плоскости предмета, мкм:
при визуальном наблюдении с окуляром 15х
на ПЗС камере окулярного канала
на ПЗС камере фотографического канала


320
145х109
30х23

 

Увеличение, крат
на площадке ПЗС камеры окулярного канала
на площадке ПЗС камеры фотографического канала


33
157

 

Максимальная измеряемая глубина рельефа, мкм

20

 

Продольная разрешающая способность, в долях длины волны λ

λ/200

 

Поперечная разрешающая способность, мкм

0,5

 

Микрообъектив
фокусное расстояние, мм
числовая апертура
пределы перемещения для фокусировки, мм
увеличение, крат


6,16
0,65
3
33,4

 

Освещение

 

Полупроводниковый лазер
длина волны, мкм
мощность, мВт


0,65
5

 

Автоматизированный Предметный стол*

 

Диапазон сканирования, мм

40х40

 

Минимальный шаг сканирования, мкм

5

 

Алгоритм

 

Размерность изображения, пиксель

768х576

 

Время измерения и обработки, сек

30

 

Число обрабатываемых интерферограмм

5

 

Операционная система

Windows XP

 

Габаритные размеры (без предметного стола), мм

340х370х380

 

Масса, кг

24


Сделать заказ и запросить дополнительную информацию по МИА-1 Вы можете здесь.

Назад
ООО Прибор. Поставки КИПиА и электротехнического оборудования.
Тел.(4812)386407. Факс(4812)385745. E-mail: mail@ooo-pribor.ru.

Яндекс.Метрика