Датчики температуры и вибрации
Узлы управления ЭПУУ-7, ЭПУУ-8Д-1
МДП-сенсоры Д-1
 Датчики Д-1 представляют собой чувствительные элементы (ЧЭ) для измерения концентраций: водорода, дейтерия, сероводорода, двуокиси азота, этилмеркаптана, хлора и аммиака. Основным элементом датчика является МДП (металл-диэлектрик-полупроводник) - структура типа Pd-Ta2O5-SiO2-Si, электроемкость которой изменяется при взаимодействии с газом. Технология изготовления ЧЭ представляет собой сочетание микроэлектронной технологии изготовления транзисторов и лазерной технологии напыления тонких пленок. ЧЭ можно использовать для определения концентраций любого из перечисленных газов в диапазоне температур окружающей газовой среды от –30 до +40°С с влажностью от 30 до 90% при 30°С. Фотография датчиков приведена на рисунке. В таблице указаны характеристики датчиков для каждого из перечисленных газов. |
| Газ | Диапазон измеряемых концентраций, ppm | Времена отклика, τ0.9, мин | Времена релаксации, τ0.1, мин | Рабочая температура, ºС | Срок службы ЧЭ, год |
|---|---|---|---|---|---|
| Cl2 | 0,001 - 10 | 10 | 10 | 100 - 190 * | 2 |
| H2S | 0,005 - 0,3 | 5 | 15 | 120 | 1 |
| NO2 | 0,01 - 10 | 10 | 20 | 100 - 190 * | 2 |
| C2H5SH | 0,01 - 0,3 | 5 | 15 | 120 | 1 |
| H2, D2 | 10-1 - 104 | 0,1 - 5 | 0,1 - 5 | 100 | 5 |
| NH3 | 0,02 - 10 | 8 | 20 | 100 - 190 * | 2 |
* - ЧЭ в газоанализаторе циклически нагревается с рабочей температуры 100ºС до 190ºС. Сигнал измеряется в момент охлаждения датчика до 100ºС.
Сделать заказ и запросить дополнительную информацию по Д-1 Вы можете здесь.
Назад